SiC Ion enplantè

SiC Ion enplantè

Solisyon Customized enplantasyon iyon milti-fonksyonèl se yon platfòm enplantasyon iyon koutim-oryante.
Voye rechèch
Dekri teren

Apèsi sou pwodwi

 

Solisyon Customized enplantasyon iyon milti-fonksyonèl se yon platfòm enplantasyon iyon koutim-oryante. Vize enstiti rechèch, inivèsite ak ti -pakèt espesyal-liy pwodiksyon semi-conducteurs pwosesis, ekipman sa a sipòte tou de sous gaz ak sous ion solid. Chanm sib la se configurable ak mòd enplantasyon tanperati ki wo ak ba-. Li trè adaptab pou modifikasyon materyèl, avanse-rechèch materyèl, pilòt-liy fabrikasyon semi-conducteurs ak espesyal-enplantasyon echantiyon pou substrats iregilye ti -gwosè. Platfòm nan sipòte pyès ki nan konpitè pèsonalize ak pèsonalizasyon fonksyon selon kondisyon espesifik kliyan-pwosesis yo.

 

Avantaj

 

Achitekti trè customizable: Konfigirasyon fleksib nan sous iyon, chanm sib, detantè wafer ak modil travès-liy pou matche ak divès kondisyon pwosesis ki pa-estanda. Tou de gwo -tanperati ak mòd enplantasyon kriyojenik yo disponib pou chanm sib la.

Doub -mòd iyon- konpatibilite sous: Sipòte sous gaz ak operasyon sous solid, ki kouvri yon pakèt espès iyon implant pou syans materyèl ak R&D semi-conducteurs.

Lajè adaptabilite substrate: Travay ak estanda 4-/6-pous wafers osi byen ke iregilye ti moso, elimine restriksyon sou faktè fòm echantiyon pou rechèch nan echèl laboratwa.

Wife wafer -ranje akor tanperati: Sipòte tanperati pwosesis soti nan tanperati chanm jiska 550 degre, ak si ou vle refwadisman sib chanm ka configuré sou demann pou tanperati -eksperyans materyèl sansib.

Itilizatè-zanmitay pou senaryo R&D: konfigirasyon resèt senplifye, debogaj travès-liy pratik ak pakèt fleksib oswa yon sèl-piki echantiyon, byen-apwopriye pou rechèch akademik ak ti-pwodiksyon pilòt volim.

 

Aplikasyon

 

Rechèch ak ansèyman akademik: laboratwa inivèsite, materyèl enstiti rechèch{0}}esperyans syans

Modifikasyon materyèl: Ion-modifikasyon gwo bout bwa nan metal, seramik, polymère ak nouvo materyèl fonksyonèl

Faktori espesyal pilòt semi-conducteurs: ti -pakèt konpoze-pwodiksyon esè aparèy semi-conducteurs

Pwosesis espesyal -enplantasyon pou echantiyon iregilye ti -gwosè yo

 

Paramèt

 

Atik

Spesifikasyon

Wafer / Egzanp Size

6 pous, 4 pous oswa ti moso iregilye

Ranje enèji (Chaj sèl)

30-200 keV

Espès enplantasyon

P, B, Kòm, Fe, H, Li ak lòt iyon Customized

Pwosesis Tanperati Wafer

RT-550 degre; refwadisman sib chanm opsyonèl sou demann

 

FAQ

 

K: pou ki kliyan Customize Solution milti fonksyonèl implanter sitou pou?

A: Li se oryante nan inivèsite, enstiti rechèch syantifik, ak ti echèl pwosesis espesyal semiconductor liy pwodiksyon pilòt. Li konsantre sou R & D ak ti esè pakèt kouri olye ke gwo volim pwodiksyon an mas nan endikap IC fabs.

K: Èske machin sa a ka trete ti echantiyon ki pa estanda iregilye?

A: Wi. Apa de estanda 4 pous ak 6 pous wafers, li sipòte echantiyon iregilye ti gwosè. Moun ki gen echantiyon yo ka Customized selon dimansyon echantiyon kliyan yo.

K: Ki opsyon tanperati ki disponib pandan enplantasyon?

A: Estanda konfigirasyon sipòte RT 550 degre enplantasyon tanperati wo. Yon chanm sib refwadisman pou pwosesis tanperati ki ba ka ajoute kòm yon opsyon Customized.

K: Ki mòd sous iyon ekipman an sipòte?

A: Li konpatib ak tou de sous iyon gaz ak sous ion solid, ki kouvri B, P, As, Fe, H, Li ak lòt espès ion; espès ion siplemantè ka reyalize atravè modifikasyon Customized.

K: Èske li ka kolabore ak lòt SEMICORE ZKX pwodiksyon klas implanters?

A: Wi. Li ka travay ansanm ak CIP seri mwayen aktyèl, CIC seri gwo aktyèl, CIE 8000 gwo enèji implanters. Ka platfòm la Customized dwe itilize pou rechèch pre ak eksplorasyon resèt anvan pwodiksyon an mas sou ekipman klas pwodiksyon an.

K: Ki sèvis yo ka jwenn pou platfòm Customized sa a?

A: SEMICORE ZKX bay personnalisation konplo, enstalasyon ekipman ak komisyonin, rezèv pyès rezèv, sipò teknik sou sit, ak sèvis eksplorasyon pwosesis oksilyè pou pwojè rechèch oryante.

 

Baj popilè: sic ion implanter, Lachin sic ion implanter manifaktirè, Swèd

Voye rechèch