Wafers yo divize an Bare Wafer ak Patterned Wafer, jan yo montre nan Figi 6. Pwen depa pou konsidere kalite defo nan de kalite wafers se yon ti jan diferan. Gen anpil kalite domaj sou sifas la nan wafers, ki ka koze pa pwosesis oswa domaj nan materyèl nan tèt li. Sèvi ak diferan metòd deteksyon defo ka lakòz diferan klasifikasyon defo. Lè w pran an kont pwopriyete fizik domaj yo ak espesifik algoritm deteksyon defo ki vin apre yo, domaj yo ka tou senpleman klase nan redondances sifas (patikil, polyan, elatriye), defo kristal (defo liy glise, defo anpile), reyur, ak defo modèl (pou wafers modèl).
Sifas redondance
Gen divès kalite materyèl redondants sou sifas wafers, sòti nan ti patikil ki piti tankou dè dizèn nan nanomèt, nan pousyè ki gwo tankou dè santèn de mikromèt, ak résidus sifas kite nan pwosesis anvan an. Patikil yo ka prezante atravè pwosesis tankou grave, polisaj, netwayaj, elatriye. Defo Redondans sitou soti nan pousyè sou sifas la wafer pandan pwodiksyon ak pwosesis, pite lè pa satisfè estanda, ak reyaktif chimik pandan pwosesis la. Patikil sa yo ka bloke limyè pandan fotolitografi, sa ki lakòz domaj nan estrikti sikwi entegre. Kontaminan yo ka konfòme yo ak sifas wafer la, sa ki lakòz modèl enkonplè ak afekte karakteristik elektrik chip la, jan yo montre nan Figi 7.
Crystal defo
Defo liy glise yo tou se yon kalite komen nan domaj ki te koze pa chofaj inegal pandan kwasans kristal. Anjeneral yo fòme ti liy orizontal nan kwen deyò wafer la. Akòz gwosè relativman gwo liy glise a, li ka idantifye atravè obsèvasyon manyèl.
Fòt anpile yo tou domaj ki ka jwenn nan kouch epitaxial, anjeneral akòz dezòd la nan sekans nan anpile nòmal nan avyon yo peman chaje nan estrikti nan kristal, ak gwosè tipikman nan seri a mikromèt.
Domaj mekanik
Domaj mekanik jeneralman refere a reyur sou sifas yon wafer ki te koze pa polisaj oswa tranche, anjeneral ki te koze pa polisaj chimik mekanik (CMP), fòme yon fòm arc, oswa li ka distribisyon pwen ki pa kontinyèl, jan yo montre nan Figi 10. Kalite domaj sa a varye nan gwosè epi anjeneral afekte koneksyon an nan kous la wafer, fè li yon domaj grav. Ka defo sa a dwe korije, men li ka akòz move operasyon mekanik.
