Apèsi sou pwodwi
Batch Wafer Cleaner-ki gen ladan Modèl 12-pous ak Modèl BC 8-pous-te bati pou presizyon nan fabrikasyon semi-conducteurs ak pwosesis wafer Silisyòm, ki espesyalize nan grave mouye ak netwayaj. Ki sa ki mete li apa? Fòma fleksibilite ki travay pou tou de 12-pous ak 8-pous wafers, plis opsyon manipulation configurable (kasèt-mwens oswa kasèt-tip) pou adapte prèske nenpòt konfigirasyon pwodiksyon - soti nan gwo volim fab 300mm jiska eritaj liy 200mm.
Anba kapo a, li chaje ak karakteristik ki enpòtan pou rezilta konsistan: jesyon chimik avanse (avèk sipò CCSS/LCSS), kontwòl pwosesis otomatik pou dòz, tanperati, ak vitès koule, ak endistri -estanda kominikasyon SECS/GEM. Men, nou pa t sispann nan pèfòmans-sekirite ak efikasite yo te pi gwo priyorite tou. Ou pral bati -nan deteksyon fuit ak pwoteksyon surchof pou lapè lespri, plis rekiperasyon chimik ak kapasite klasifikasyon fatra pou kenbe operasyon yo mache byen. Kit ou ap grave, netwaye, oswa rense, sistèm sa a bay rezilta repete ke ou ka konte sou-san devine.
Avantaj
Fòma ak manyen fleksibilite
- Modèl 12-pous:Kasèt-mwens konsepsyon (diminye risk kontaminasyon pou gwo-galèt 300mm pite).
- Modèl 8-pous:Doub kasèt / kasèt-manyaj kalite + SMIF POD / FOUP konpatibilite (adapte a eritaj / modèn workflows 200mm).
Kontwòl Pwosesis Precision
- Karakteristik estanda:Dòz oto, senyen ak manje, ak tan reyèl -regleman tanperati, konsantrasyon, vitès koule, ak presyon (asire inifòmite pakèt-a-pakèt).
- Siye avanse:Marangoni / LPD siye (anpeche tach dlo / rezidi sou sifas wafer sansib).
Pri ak efikasite operasyonèl
BC3100-eksklizif reklamasyon chimik (diminye konsomasyon chimik ak fatra).
Pwoteksyon ichofaj pakèt + detèktè koule (minimize D 'ak pèt materyèl).
Faktori Entegrasyon & Konfòmite
Sipò konplè pwotokòl SECS/GEM (pèmèt koneksyon MES pou workflows fab entelijan).
- 8-pous modèl:Separe drenaj (senplifye klasifikasyon dechè danjere ak konfòmite regilasyon).
Aplikasyon
Pwosesis Faktori IC
- Netwayaj RCA
- PR mouye teren
- Kouch dielectric mouye etch
- Kouch metal mouye etch
Silisyòm Wafer Processing
- Gravure alkali
- Post-netwayaj polonè
- Pre-netwayaj
- Final rense
Modèl-Ka Itilizasyon Espesifik yo
- 12-Modèl pous: Fè pou gwo-pwodiksyon volim 300mm. Panse gwo lojik ak memwa chip fabs kouri nan vitès plen.
- 8-Modèl pous: Ideyal pou liy wafer 200mm. Bon pou semi-conducteurs otomobil ak eritaj mikwo-elektwonik-sa yo ki alimante sistèm esansyèl yo.
Paramèt
|
Paramèt |
Modèl 12-pous |
8-pous BC Modèl |
|
Gwosè wafer |
12-pous (300mm) |
8-pous (200mm) |
|
Kalite zouti |
Kasèt-mwens |
Kalite kasèt oswa kasèt |
|
Wafer Kapasite / Anplasman |
N/A |
50 wafers (25 wafers / kasèt x2) / 10mm anplasman |
|
Sipòte transpòtè |
N/A |
SMIF POD/FOUP |
|
Sipò pou Pwovizyon pou Chimik |
CCSS, LCSS |
CCSS, LCSS |
|
Teknoloji siye |
Marangoni sèk oswa LPD |
Marangoni sèk, LPD sèk |
|
Jesyon chimik |
Dòz oto, senyen & manje; |
Dòz oto, senyen & manje; |
|
Karakteristik sekirite |
Pwoteksyon ichofaj nan beny; detèktè koule (inite-nivo) |
Pwoteksyon ichofaj nan beny; deteksyon flit; separe |
|
Reklame chimik |
Sipòte |
Pa espesifye |
|
Pwotokòl kominikasyon |
Sipò konplè SECS/GEM |
Sipò konplè SECS/GEM |
|
Transmisyon kasèt |
Pa espesifye |
Sipòte |
FAQ
K: Ki gwosè wafer Seri BC sipòte?
A: BC3100 a okipe 12-pous (300mm) wafers; modèl BC 8-pous sipòte 8-pous (200mm) wafers.
K: Èske Seri BC a ka travay ak kasèt?
A: BC3100 a sèvi ak yon kasèt-mwens konsepsyon; modèl 8-pous la sipòte tou de manyen san kasèt ak kasèt.
K: Ki pwosesis kle li fè?
A: Li okipe netwayaj RCA, teren PR, etch dyelèktrik/metal, ak netwayaj post-polis pou semi-conducteurs/gaflèt.
K: Èske li sipòte entegrasyon faktori?
A: Wi-tou de modèl yo konplètman sipòte pwotokòl kominikasyon SECS/GEM pou koneksyon MES.
K: Ki karakteristik sekirite li genyen?
A: Karakteristik estanda yo enkli pwoteksyon surchof nan beny ak deteksyon koule; modèl la 8-pous ajoute drenaj fatra separe.
Baj popilè: pakèt wafer cleaner, Lachin pakèt wafer cleaner manifaktirè, founisè
