Kouvri sifas yon substra tankou yon wafer Silisyòm ak yon fotorèsist trè photosensible, ak Lè sa a, iradyasyon sifas la substra ak limyè espesifik (anjeneral limyè iltravyolèt, limyè iltravyolèt gwo twou san fon, limyè iltravyolèt ekstrèm) atravè yon mask ki gen enfòmasyon modèl sib, photoresist la iradyasyon pa limyè a pral reyaji. Se poutèt sa, zòn nan iradyasyon apre devlopman pral pwodwi efè diferan de zòn nan pa iradyasyon (ki depann sou pwopriyete yo nan photoresist la).
