Apèsi sou pwodwi
Twa Magnetron Sputtering Ekipman konpayi nou an, ki baze sou teknoloji PVD, tout depo segondè -metal, dyelèktrik, ak fim semi-conducteurs, men diferan nan aplikasyon konsantre.
Pran modèl endistriyèl yon sèl-chanm: li fèt pou pwodiksyon gwo-echèl, ak itilizasyon rekòmandasyon sib ki kenbe depans yo nan chèk. Li okipe 8-pous wafers san pwoblèm, fournir pwodiksyon ki konsistan demann fabrikasyon endistriyèl yo.
Apre sa, gen vèsyon endistriyèl milti-chanm, ki itilize modilè, chanm endepandan (panse chofaj, sputtering, ak plis ankò) otomatize pwosesis la kouch antye.
Se yon jwèt-changer pou mas-pwodwi fim konplèks milti-kouch, koupe sou entèvansyon manyèl. Rechèch-machin klas la, nan lòt men an, fèt espesyalman pou inivèsite ak enstitisyon rechèch. Li ofri konfigirasyon fleksib-tankou milti-sputtering sib-pou akomode ti -pakèt R&D travay, kit pou materyèl carbure Silisyòm oswa pwototip chip pwopòsyon. Nan tout twa, nou kenbe angajman "bon kalite atizanal" nou an, asire w ke yo satisfè bezwen yo varye nan endistri a semi-conducteurs.
Pou jwenn pi bon solisyon pou ou, tanpri kontakte nou.
Aplikasyon
Twa Ekipman Sputtering Magnetron konpayi nou an yo chak gen pwòp nich yo -ansanm ki kouvri tout bezwen nan endistri semi-conducteurs.
Pran modèl endistriyèl yon sèl-chanm: li se tout sou gwo-manifakti echèl, tankou sikwi entegre. Pou preparasyon fim mens wafer 8-pous, li rapid ak fiks, emplacements dwat nan liy pwodiksyon CMOS/IGBT, epi li frape tou de objektif kapasite ak sede san yon pwoblèm.
Endistriyèl milti-chanm lan kanpe ak automatisation total ak entegrasyon solid. Fim konplèks milti-kouch sa yo pou aparèy 5G ak optoelektwonik yo? Li okipe yo fasil, satisfè demand yo presizyon sere nan pwodiksyon an mas.
Apre sa, rechèch -modèl klas-sa a adapte pou R&D inivèsite. Li sipòte ti -tès pakèt sou nouvo materyèl tankou karbid Silisyòm, epi li aji kòm yon platfòm verifikasyon super fleksib.
Avantaj
Twa Ekipman Sputtering Magnetron nou yo chak pote fòs vize sou tab la, pwepare pou senaryo aplikasyon diferan:
1. Endistriyèl Single-Chamber Model:
Li fè gwo nòt ak itilizasyon sib segondè-direkteman diminye depans operasyon yo. Lè w ap trete wafers 8-pous, li bay pèfòmans ki solid nan wòch; inifòmite fim rete nan ± 3%, fasil frape kondisyon pwodiksyon endistriyèl. Anplis de sa, estrikti senp li yo fè antretyen yon briz.
2. Modèl endistriyèl milti-chanm:
Chanm modilè otomatik yo se ace li yo nan twou a, ogmante efikasite pwodiksyon an anpil. Li genyen tou kontwòl patikil avanse, ki asire pite fim ki pi wo-niveau-pafè pou fè fim milti-kouch yo itilize nan aparèy 5G ak optoelektwonik. Anplis de sa, kapasite fò entegrasyon li yo pèmèt li adapte yo ak yon pakèt materyèl san pwoblèm.
3. Rechèch-Modèl Klas:
Ki fèt ak R&D nan tèt ou, li ofri konfigirasyon fleksib tankou milti-sputtering sib pou satisfè bezwen nouvo devlopman materyèl. Mikromèt-nivo presizyon bay sipò serye pou verifikasyon pwosesis, ak ti-konsepsyon pwosesis pakèt li yo ede diminye depans R&D esè-ideyal pou eksplorasyon laboratwa.
Paramèt
|
Atik |
Endistriyèl Single-Chamber Model |
Modèl Endistriyèl Multi-Chamber |
Rechèch-Modèl Klas |
|
Gwosè Wafer ki aplikab |
8 pous ak anba |
6 pous / 8 pous |
8 pous ak anba |
|
Ultim vakyòm |
8x10-5 Pa |
2x10-5 Pa |
- |
|
Inifòmite fim |
Mwens pase oswa egal a ± 3% |
Mwens pase oswa egal a ± 3% |
± 3% (sib 4-pous, wafer 8-pous) |
|
Substra Etap Temp.Control |
RT-650 degre (oswa refwadisman) |
- |
RT-600 degre (chofaj oswa refwadisman) |
|
Vitès wotasyon etap substrate |
- |
- |
5-20 RPM |
|
Sputtering Metòd |
Sputtering sèl-sib |
- |
Sèl-sib/ milti-sib sekans/ko-sputtering |
|
Pwovizyon pou pouvwa |
Si ou vle DC/RF/MF |
- |
Si ou vle DC/RF/MF |
|
Konfigirasyon kle yo |
Single chanm pwosesis; Mwens pase oswa egal a 4 zam sib |
Mwens pase oswa egal a 5 chanm pwosesis (chofaj, refwadisman, sputtering, elatriye) |
Multi-sputtering sib: pre-chanm vakyòm (opsyonèl); |
|
Materyèl ki aplikab yo |
Silisyòm, konpoze, seramik, elatriye. |
Silisyòm, konpoze, elatriye. |
Metal (Al, Au, Cu), dielectrics (SiO2, TaN), semi-conducteurs |
FAQ
Ki jan yo chwazi nan mitan twa modèl yo?
Pou pwodiksyon an mas wafers 8-pous (pa egzanp, CMOS/IGBT), chwazi yon sèl modèl kavite endistriyèl-; pou fim konplèks multikouch nan 5G / optoelektwonik, chwazi modèl milti-kavite endistriyèl la; pou rechèch ak devlopman nan nouvo materyèl nan inivèsite (egzanp, carbure Silisyòm), chwazi modèl rechèch la.
Èske li sipòte kouch materyèl ki pa gen -silikon-?
Wi, li sipòte tout, ki kouvri seramik, semi-conducteurs konpoze, metal (Al / Au), dielectrics (SiO₂), elatriye.
Èske gwosè wafer la ka elaji?
Default se 8 pous ak anba (6-8 pous pou modèl milti-kavite). Ti-echèl ekspansyon ka Customized davans, men posibilite pwosesis bezwen yo dwe evalye.
Ki kondisyon tès yo pou inifòmite epesè fim Mwens pase oswa egal a ± 3%?
Baze sou 8-pous wafers (4-pous sib + 8-pous wafer pou modèl rechèch la), estanda metal/dielectric fim kouch tès. Optimizasyon posib pou diferan materyèl/epesè fim.
Èske fòmasyon enstalasyon yo bay?
Nou bay sou plas-enstalasyon ak komisyonin, plis fòmasyon operasyon/antretyen pou asire ekip la ka kòmanse byen vit.
Èske ekipman an ka amelyore pita?
Modèl milti-kavite ak rechèch yo ka amelyore ak zam sib/pre-chanm vakyòm; yon sèl-modèl kavite gen yon potansyèl amelyorasyon limite, kidonk nou rekòmande pou defini klèman bezwen alontèm- depi nan kòmansman an.
Konbyen tan sik livrezon an? Èske li ka akselere?
Modèl sèl-kavite/rechèch: 8-12 semèn; modèl milti-kavite: 12-16 semèn; livrezon rapid se negosyab epi li depann de orè liy pwodiksyon an.
Èske gen rabè sou depans antretyen apre-pwodiksyon?
Sitou pou materyèl sib ak consommables. Consommables yo ofri nan yon rabè ki pi gran pase oswa egal a 10% pou 5 ane apre peryòd garanti a. Nou tou bay konsèy antretyen pou redwi pwi yo.
Baj popilè: magnetron sputtering ekipman, Lachin magnetron sputtering ekipman manifaktirè, Swèd
