Apèsi sou pwodwi
Sa a se sistèm sputtering magnetron bati pou depo metal mens fim nan fabrikasyon semi-conducteurs. Li lajman itilize nan sikui entegre, aparèy pouvwa, ak anbalaj avanse. Sistèm nan sipòte wafers 6 pous ak 8 pous epi li bay kwasans fim mens ki estab, repete pou tou de R&D ak pwodiksyon volim.
Avantaj
1. Style Cluster ak konsepsyon modilè fè li fasil pou konfigirasyon ak elaji pou bezwen diferan pwosesis.
2. Manyen totalman otomatize wafer ak fonksyon oksilyè konplè kenbe operasyon ki estab epi redwi entèvansyon manyèl.
3. Chanm sèl Layout sib sèl sipòte pwosesis paralèl ak synchrone, amelyore efikasite an jeneral.
4. Pèfòmans vakyòm segondè desann nan ~ 6E 6 Pa ak inifòmite rezistans fèy mwens pase oswa egal a 3% ede asire bon jan kalite fim ki konsistan atravè wafers.
Aplikasyon
1. Sikui entegre: yo itilize pou depoze metal entèkoneksyon, elektwòd, ak kouch baryè nan pwosesis devan ak dèyè.
2. Aparèy pouvwa: sipòte fòmasyon fim metal pou elektwòd, metalizasyon, ak pasivasyon nan konpozan vòltaj segondè ak gwo pouvwa.
3. Anbalaj avanse: bay metalizasyon serye pou kouch redistribisyon (RDL), bumping, ak lòt estrikti interconnect anbalaj.
FAQ
K: Ki sa ki nan sistèm sa a magnetron sputtering aktyèlman itilize pou?
A: Li se yon mens -zouti depo fim-premye pou mete fim metal nan fabrikasyon semi-conducteurs. Panse sikui entegre, aparèy pouvwa, ak pwosesis anbalaj avanse-sa yo se ka itilizasyon prensipal li yo.
K: Ki gwosè wafer li ka okipe?
A: Kounye a, li travay ak wafers 6-pous ak 8 pous. Pafè pou tou de travay R & D laboratwa ak liy pwodiksyon volim plen echèl.
K: Kouman ba nivo vakyòm ka jwenn?
A: Nou ap pale jiska anviwon 6E-6 Pa pou vakyòm pwosesis la. Sa enpòtan anpil pou jwenn bon jan kalite fim mens ki konsistan.
K: Ki jan konsistan inifòmite fim nan?
A: Inifòmite rezistans fèy la chita nan mwens pase oswa egal a 3%-konsa ou pa pral wè gwo varyasyon atravè wafers yo, ki se kle pou pèfòmans serye aparèy.
K: Ki sa ki fè sistèm sa a kanpe deyò pou itilize chak jou?
A: Se ti bagay sa yo ki ajoute: gwoup-style modil konsepsyon (super fleksib pou konfigirasyon koutim), manyen wafer totalman otomatize (rediksyon sou travay manyèl), ak yon sèl -chanm sèl- layout sib (pèmèt pwosesis yo kouri nan paralèl, ranfòse efikasite).
K: Èske li apwopriye pou aplikasyon anbalaj avanse?
A: Absoliman. Li lajman itilize pou metalizasyon nan anbalaj avanse-bagay tankou RDL (kouch redistribisyon), bumping, ak lòt estrikti entèkonekte ki bezwen fim metal serye.
Baj popilè: magnetron sputtering sistèm, Lachin magnetron sputtering sistèm manifaktirè, Swèd
