Apèsi sou pwodwi
Sa a se yon sèl netwayaj wafer bati espesyalman pou travay semi-kondiktè wafer -ki kouvri tout bagay soti nan fòma 8-pous 12-pous, pa gen okenn eksepsyon. Chak modèl vini ak kontwòl pwosesis egzak (panse chofaj, konsantrasyon, pousantaj koule) ak kominikasyon SECS / GEM, kidonk entegre li nan fab entelijan se yon briz. Pi bon toujou, li konplètman configurable matche ak tou sa aplikasyon ou bezwen.
Men ki jan seri a kraze:
SWC 100:
Ki fèt ak wafers 12-pous nan tèt ou. Li gen 8 chanm epi li travay ak 4 FOUP, pou jere tout pwosesis mouye estanda ou ta bezwen jou-jounen.
SWC 200:
Yon lòt opsyon 12-pous konsantre, men ak yon ogmantasyon-12 chanm olye pou yo 8, plis konpatibilite 4 FOUP. Pwosesis debaz yo? Egzakteman menm jan ak SC3100 a, kidonk pa gen okenn nouvo koub aprantisaj.
SEC Plus:
Yon fleksib nan pakèt la. Li travay ak wafer 8-pous ak 12-pous menm jan, epi ou ka personnaliser konte chanm nan soti nan 2 a 8. Pafè pou aparèy pouvwa ak konfigirasyon pwosesis ki baze sou Silisyòm.
Avantaj
◆ Fòma & Konfigirasyon Fleksibilite
SWC100 / SWC 200: Fiks sipò 12-pous (8/12 chanm) pou pwodiksyon estanda gwo volim.
SEC Plus: konpatibilite 8–12-pous + chanm personnalisable, adapte ak flux travay aparèy melanje-fòma/pouvwa.
◆ Kontwòl Pwosesis egzak
Tout modèl: Chofaj / konsantrasyon / koule / kontwòl presyon, plis chimi si ou vle (DHF, SC1, elatriye) ak 3ea bouch pou pwosesis inifòm.
SEC Plus: Te ajoute separasyon asid / baz / echapman òganik + reklamasyon chimik, amelyore sekirite ak efikasite pri.
◆ Gwo konpatibilite
SWC100 / SWC 200: 4FOUP sipò konpayi asirans pou entegrasyon fab 12-pous.
SEC Plus: 2–4 Open Cassette/SMIF/FOUP konpatibilite, eritaj apwopriye ak liy pwodiksyon modèn.
Aplikasyon
SWC100 / SWC 200 (galèt 12 pous)
Pwosesis debaz: netwayaj RCA, netwayaj GATE, grave oksid / retire, retire fotorezist.
Itilizasyon espesifik: Patikil / metal / retire kontaminasyon òganik, pre / apre - netwayaj, Al / Cu netwayaj entèkonekte (pou lojik / bato memwa).
SEC Plus (8-12-pous Wafers)
Aparèy sib: Silisyòm carbure/Silisyòm pouvwa aparèy, Silisyòm{0}}ki baze pwosesis aparèy.
Pwosesis espesifik: eklèsi/netwaye dèyè, netwayaj wafer mens, gwo -tanperati H3PO4 grave, plis retire estanda kontaminasyon ak netwayaj entèkonekte.
Paramèt
|
Spesifikasyon |
SWC100 |
SWC 200 |
SEC Plus |
|
Gwosè wafer |
12 pous |
12 pous |
8-12 pous |
|
Chanm yo |
8 chanm |
12 chanm |
2-8 chanm (personnalisable) |
|
Konpayi konpatibilite |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Louvri kasèt/SMIF/FOUP |
|
Sipòte Chimi |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
Etchant,SC1+Megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Karakteristik kontwòl pwosesis |
Chofaj / konsantrasyon / koule / kontwòl presyon |
Chofaj / konsantrasyon / koule / kontwòl presyon |
Chofaj / konsantrasyon / koule / kontwòl presyon |
|
Sipò Pwovizyon pou Chimik |
N/A |
N/A |
CCSS, LCSS |
|
Jesyon echapman |
N/A |
N/A |
Separe echapman (asid / baz / òganik) |
|
Karakteristik adisyonèl |
N/A |
N/A |
Rekiperasyon chimik; pwoteksyon surchof nan beny; flit |
|
Pwotokòl kominikasyon |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
Ki gwosè wafer modèl sa yo sipòte?
SWC100 / SWC 200 sèlman sipòte wafers 12-pous; SEC Plus a fleksib pou 8-12-pous wafers.
Ki diferans ki genyen ant SWC100 ak SWC 200?
Yo pataje menm kapasite pwosesis 12-pous-SC3100 gen 8 chanm, pandan y ap SWC 200 elaji nan 12 chanm pou pi gwo debi.
Ki modèl ki apwopriye pou pwosesis aparèy pouvwa?
SEC Plus optimize pou aparèy pouvwa carbure Silisyòm/Silisyòm (sipòte eklèsi dèyè, gwo -tanperasyon H3PO4 grave).
Èske sistèm sa yo konekte ak MES fab nou an?
Wi -tout modèl yo konplètman sipòte pwotokòl kominikasyon SECS/GEM pou entegrasyon faktori a.
Èske Seri SE a sipòte pwodui chimik pri -ekonomize karakteristik?
Wi, li gen ladan l fonksyonalite rekiperasyon chimik (resikle pwodui chimik pwosesis) ak drenaj dechè klase.
Ki transpòtè sistèm sa yo travay ak?
SWC100 / SWC 200 itilize 4FOUP; SEC Plus a sipòte 2–4 Open Cassette/SMIF/FOUP (adapte ak eritaj/liy modèn).
Baj popilè: sèl wafer cleaner, Lachin sèl wafer cleaner manifaktirè, Swèd
