Apèsi sou pwodwi
Machin Ion Beam Gravure (IBE) yo se zouti pwosesis ki wo -konstwi ozalantou teknoloji grav ion iyon fizik. Lide debaz la? Sifas materyèl eksplozif ak gwo-enèji iyon gwo pou retire atòm-pafè pou tretman ki pa-destriktif nan materyèl ki difisil-pou-grave frajil (tankou metal ak seramik) ak materyèl sansib pwopòsyon chip.
Yo vini ak yon tab travay de-mòd: yon sèl-moso ak ajisteman ang soti nan -90 degre a 90 degre, plis yon kalite milti-piè sikilè wotasyon. Kit ou ap fè ti -rechèch laboratwa pakèt oswa pwodiksyon an mas, li flechi selon bezwen ou yo. Genyen tou yon refwadisman dlo / sistèm refwadisman elyòm pou kenbe wafers soti nan domaj tèmik-konsa aparèy presizyon tankou chips pwopòsyon rete estab apre pwosesis.
Anplis de sa, enèji gwo bout bwa ion ajiste san pwoblèm soti nan 0 a 1000 eV. Pè sa a ak inifòmite grave nan mwens pase oswa egal a ± 3% (pou substrats 8-pous), epi ou ka kloure kontwòl egzak sou pwofondè grave ak presizyon modèl. Li se yon baz pwosesis debaz pou R&D sou semi-conducteurs avanse (carbure Silisyòm, materyèl 2D), fabrikasyon aparèy optoelektwonik segondè-presizyon, ak devlopman chip pwopòsyon.
Aplikasyon
1. Materyèl ki difisil-pou-grave: Metal superconducteurs, seramik (ayewospasyal, zouti segondè-)
2. Chips kwatik: Ba -grave domaj nan kbit/pwen pwopòsyon
3. Semi-conducteurs avanse: SiC, GaN, materyèl 2D (verifikasyon R&D)
4. Optoelectronics: aparèy kominikasyon optik (5G/6G konpatib)
5. MEMS: Estrikti segondè -aspect- (otomobil, ayewospasyal)
Avantaj
1. Ba-domaj ak gwo-presizyon: Gravite fizik, kontwòl atomik (chips pwopòsyon)
2. Materyèl frajil -zanmitay: metal superconducteurs, seramik, SiC (pa gen okenn ajisteman)
3. Flexible worktable: Doub -mòd (-90 degre ~ 90 degre / wotasyon) - R & D / pwodiksyon an mas
4. Solid jesyon tèmik: refwadisman dlo / elyòm (pa gen okenn domaj tèmik)
5. Tunable & konsistan: 0-1000 eV + mwens pase oswa egal a ± 3% inifòmite (lo fiks)
Paramèt
|
Atik |
Endikatè espesifik |
|
Gwosè Substra ki aplikab |
Mwens pase oswa egal a 8 pous (8 pous ak pi ba); kèk sipò konfigirasyon |
|
lon gwo bout bwa enèji |
0-1000 eV, sipòte ajisteman kontinyèl (0-1000 eV, |
|
lon Travès Kouran |
Mwens pase oswa egal a ± 1000 mA (pou sous iyon RF); Mwens pase oswa egal a ± 200 mA (pou Kaufman |
|
Etching Inifòmite |
Mwens pase oswa egal a ± 3% (ki baze sou substra 8-pous); Mwens pase oswa egal a ± 5% (ki baze sou 6- |
|
Metòd Refwadisman Etap Substra |
Dlo refwadisman/ Elyòm tounen refwadisman |
|
Worktable Mode |
Doub-mòd (yon sèl-tip moso: ang reglabl soti nan-90 degre |
|
Fonksyon pozisyon |
Sipòte pozisyon Notch-pwen |
|
Materyèl ki aplikab yo |
Metal (superconducting Nb, Al, elatriye), seramik, Silisyòm |
FAQ
Ki gwosè max substrate IBE sa a okipe?
Jiska 8 pous-kèk konfigirasyon travay tou ak substrats jiska 6 pous.
Kouman reglabl se enèji nan gwo bout bwa ion?
0-1000 eV, ak sipò ajisteman kontinyèl.
Konbyen mòd worktable ki genyen?
De mòd: yon sèl -moso (ang ajiste -90 degre a 90 degre) ak plizyè moso (wotasyon sikilè).
Kouman etap substra a refwadi?
Refwadisman dlo/refwadisman elyòm -konserve substrats an sekirite kont domaj tèmik pandan grave.
Èske li ka trete materyèl superconducteurs (tankou Nb, Al)?
Wi -manyen tou seramik, SiC, materyèl 2D (MoS₂), ak semi-conducteurs konpoze.
Ki ranje aktyèl gwo bout bwa pou diferan sous ion?
RF ion sous: Mwens pase oswa egal a ± 1000 mA; Kaufman sous ion: Mwens pase oswa egal a ± 200 mA.
Ki sa ki inifòmite a grave?
Mwens pase oswa egal a ±3% pou substrats 8-pous, Mwens pase oswa egal a ±5% pou 6-pous (kalkile kòm (Max - Min)/(2×Mwayèn)).
Èske li sipòte pwezante substrate presi?
Asire w -vini ak Notch-pwen pozisyon pou bloke presizyon pwosesis la.
Nenpòt desen adaptasyon pou pwosesis chip pwopòsyon?
Ba -grave fizik domaj ak refwadisman dlo/elyòm-koupe domaj tèmik ak prezève pwopriyete materyèl, pafè pou estrikti pwopòsyon chip sansib.
Èske li ka chanje ant ti-pakèt R&D ak pwodiksyon an mas?
Absoliman -double-modèl travay tab la adapte tou de: yon sèl-moso pou ti-pakèt milti-tès ang, milti-moso pou pwodiksyon an mas.
Baj popilè: ion gwo bout bwa grave ekipman, Lachin ion gwo bout bwa grave ekipman manifaktirè yo, founisè
